厚膜レジストの特徴や開発期間などについて

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厚膜レジスト SU-8を使った試作例

中空構造を形成した例

中空構造 形成例

チップサイズの組み立てられた状態に一括で製作するウエハレベルパッケージングはパッケージの小型化、低価格化にとっても有効な技術です。

協賛:(株)タカトリ殿、日本化薬(株)殿

凹凸表面に形成した例

フォトレジスト形成面及び断面

フォトレジスト形成面及び断面

断面拡大

断面拡大